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离子蚀刻机,离子刻蚀机,IBE

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后更新时间:2021-01-12
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品牌:
伯东 Hakuto
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
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    Hakuto 离子蚀刻
    伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, 伯东公司已累计交付约 500套离子刻蚀机.
    伯东公司超过 50年的刻蚀 IBE 市场经验, 拥有庞大的安装基础和经过市场验证的刻蚀技术!
    离子蚀刻机,离子刻蚀机,IBE

                离子刻蚀机 4IBE                离子刻蚀机 20IBE          全自动蚀刻机 MEL 3100
    离子蚀刻机 IBE 主要型号
    伯东提供用于研究分析的小尺寸离子刻蚀机, 用于生产制造的大尺寸离子蚀刻机以及全自动蚀刻机.
    配置美国 KRI 考夫曼离子源和德国 Pfeiffer 分子泵.

    型号

    4 IBE

    7.5 IBE

    16 IBE

    20 IBE-C

    MEL 3100

    样品数量尺寸

    4”φ, 1片

    4”φ, 1片

    6”φ, 1片

    4”φ, 6片
    6”φ, 4片

    3”φ-6”φ,1片

    离子束入射角度

    0~± 90

    0~± 90

    0~± 90

    0~± 90

    -

    考夫曼离子源

    KDC 40

    KDC 75

    KDC 160

    考夫曼型

    -

    极限真空度 Pa

    ≦1x10-4

    ≦1x10-4

    ≦1x10-4

    ≦1x10-4

    ≦8x10-5

    Pfeiffer 分子泵抽速 l/s

    350

    350

    1250

    1250

    -

    均匀性

    ≤±5%

    ≤±5%

    ≤±5%

    ≤±5%

    ≤±5%


    离子蚀刻机特性:
    1. 采用美国 KRI 考夫曼型离子源, 保障蚀刻速率和均匀性
    2. 干式制程, 物理蚀刻的特性
    3. 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
    4. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
    5. 配置公转自转传输机构 ”Dry Chuck Planet ”, 使得样品可以得到比较均匀平滑的表面.
    通 Ar 时, 对各种材料的刻蚀速率
    离子蚀刻机,刻蚀速率
    NS 离子刻蚀机 20IBE-J 视频


    离子刻蚀机 3-4inch 20IBE 视频


    离子蚀刻机应用
    薄膜磁头 Thin film Magnetic Head,   自旋电子学 Spintronics,  MR Sencer
    微电子机械系统 MEMS Micro-electromechanical Systems
    射频设备 RF Devices, 光学组件 Optical Component, 超导电性 Super Conductivity
    离子蚀刻机应用
    Hakuto
    日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!
    若您需要进一步的了解离子蚀刻机详细信息, 请参考以下联络方式
    上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
    T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
    M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                        ec@hakuto.com.tw
    上海伯东版权所有, 翻拷必究!


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
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