手机版手机版
服务热线 周一至周六 8:00-17:00
400-806-8896
供应

射频离子源,射频源,RFICP

  • 二维码
  • 手机
    查看
单   价:
面议
起订量:
≥1 (现有库存1000台 1440小时内发货
后更新时间:2021-01-12
人气值 30
品牌:
美国 KRI
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
  • 价格电议


    KRI 射频离子源 RFICP 系列
    上海伯东美国 KRI 射频离子源 RFICP 系列, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的离子束, 通过栅极控制离子束的能量和方向, 单次工艺时间更长! 射频源 RFICP  系列提供完整的套装, 套装包含离子源本体, 电子供应器, 中和器, 自动控制器等. 射频离子源适合多层膜的制备, 离子溅镀镀膜和离子蚀刻, 有效改善靶材的致密性, 光透射, 均匀性, 附着力等.
    射频离子源
    射频离子源 RFICP 系列技术参数:

    型号

    RFICP 40

    RFICP 100

    RFICP 140

    RFICP 220

    RFICP 380

    Discharge 阳极

    RF 射频

    RF 射频

    RF 射频

    RF 射频

    RF 射频

    离子束流

    >100 mA

    >350 mA

    >600 mA

    >800 mA

    >1500 mA

    离子动能

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    栅极直径

    4 cm Φ

    10 cm Φ

    14 cm Φ

    20 cm Φ

    30 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

     

    流量

    3-10 sccm

    5-30 sccm

    5-30 sccm

    10-40 sccm

    15-50 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    长度

    12.7 cm

    23.5 cm

    24.6 cm

    30 cm

    39 cm

    直径

    13.5 cm

    19.1 cm

    24.6 cm

    41 cm

    59 cm

    中和器

    LFN 2000


    射频离子源 RFICP 系列应用:
    离子辅助镀膜 IBAD ( Ion beam assisted deposition in thermal & e-beam evaporation )
    离子清洗 PC (In-situ preclean in sputtering & evaporation )
    表面改性, 激活 SM (Surface modification and activation )
    离子蚀刻 IBE (Ion beam etching of surface features in any material)
    离子溅镀 IBSD (Ion beam sputter deposition of single and multilayer structures)
    离子溅射镀膜

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
    若您需要进一步的了解 KRI 射频离子源, 请参考以下联络方式
    上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
    T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
    M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                        ec@hakuto.com.tw
    上海伯东版权所有, 翻拷必究!



  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
普通会员
    • 联 系  人: 张婷婷
    • 在线客服:
    • 手机号码:
    • 联系电话:
    • 传      真:
    • 企业地址: 中国上海自由贸易试验区希雅路33号17号楼
    • 工商认证
    • 手机实名
我要询价
验证码
热门产品推荐