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PECVD设备

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后更新时间:2021-09-15
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品牌:
 
 
 
售后服务:由青岛泰斯迈仪器设备有限公司从山东青岛市发货,并提供售后服务
  • 产品简介:
    Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。                                     

    产品特性:
    • 27.12MHz高密度等离子制程
     
    • SiH4系:SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系:可对应SiO2膜
     
    • 以CF4+O2 Plasma实现腔体清洁功能
     
    • 可对应有机EL(OLED)的低温成膜用heater
     
    • 使用Tray可搬送多种基板尺寸
     
    • 通过使用真空Box实现C系列的间接连续制程(Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200)

    产品应用:
    • 功率器件

    • LED、LD、高速device等化合物相关

    • 有机EL(OLED)开发

    • 太阳电池开发


  • 青岛泰斯迈仪器设备有限公司是国际设备和仪器的综合服务商。公司拥有一支资深行业经验的专业团队,特别是半导体领域和真空领域,为家电,制冷,半导体,汽车,航空,轨道,机械,化工,科研等行业的客户提供全球##技术的工业解决方案,并为实现自动化,更高精度和更快效率进行不断地技术创##。

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