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刻蚀机NE-550EX

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后更新时间:2021-09-15
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售后服务:由青岛泰斯迈仪器设备有限公司从山东青岛市发货,并提供售后服务
  • 特长

    ·通过磁场辅助,可以产生比其他ICP方式低压力、低电子温度、高密度等离子体,从离子性蚀刻到自由基性蚀刻,可以进行宽范围的等离子体控制,因此可以对应于作为开发tool的多用过程。

    ·搭载了防止RF投入窗的沉积物附着的“Star电极”。另外,##有加热功能,重视再现性和稳定性的装置概念。

    ·实现作为高可靠性输送机器人、装置构造简单、维护简单等研究开发Tool的可靠性。

    ·还可以追加丰富的可选功能和暗盒室。

    ·面向批量生产线,推出了由同一个Chamber构成的支持多个Chamber的NE-5700、NE-7700。

    用途

    ·化合物材料(LED、LD、高频器件和功率器件)。

    ·电极加工、金属布线、有机膜、陶瓷等加工。

    ·用于加工铁电体、贵金属、磁性膜等难蚀刻材料。

    ·纳米压印、NEMS、MEMS、各种传感器。

    ·生物芯片、微流体装置、光子晶体等。

  • 青岛泰斯迈仪器设备有限公司是国际设备和仪器的综合服务商。公司拥有一支资深行业经验的专业团队,特别是半导体领域和真空领域,为家电,制冷,半导体,汽车,航空,轨道,机械,化工,科研等行业的客户提供全球##技术的工业解决方案,并为实现自动化,更高精度和更快效率进行不断地技术创##。

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