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Atonarp 半导体过程控制在线质谱仪 Aston™

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后更新时间:2022-03-04
人气值 92
品牌:
Atonarp
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
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    Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston™
    上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中  ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工##上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!

    Aston™ 特性

    实时过程控制的通用工##, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝
    半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据
    采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用
    可与大批量生产工##完全集成
    Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工##, 提供####的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.

    Atonarp  Aston™ 技术参数

    类型

    Impact-300

    Impact-300DP

    Plasma-200

    Plasma-200DP

    Plasma-300

    Plasma-300DP

    型号

    AST3007

    AST3006

    AST3005

    AST3004

    AST3003

    AST3002

    质量分离

    四级杆

    真空系统

    分子泵

    分子泵
    隔膜泵

    分子泵

    分子泵
    隔膜泵

    分子泵

    分子泵
    隔膜泵

    检测器

    FC /SEM

    质量范围

    2-285

    2-220

    2-285

    分辨率

    0.8±0.2

    检测限

    0.1 PPM

    工作温度

    15-35“℃

    功率

    350 W

    重量

    15 kg

    尺寸

    299 x 218 x 331 LxWxH(mm)

    400 x 240 x 325 LxWxH(mm)


    Atonarp  Aston 应用: 半导体工艺过程控制和##化的重大发展, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率
    Aston™ 是一款全##设计坚固耐用的紧凑型在线质谱仪, 适用于半导体制造和工业过程控制应用中气体监测和控制, 高定量精度和实时性与生产稳健性和可靠性相结合, 例如半导体 dry pump 尾气侦测分析, 实现在线监控,诊断.
    CVD / ALD: 氧化物-氮化物过渡及成分分析
    Etch/ALE End Point :<0.3%
    Chamber Matching:识别跟踪分子

    Aston™ 半导体在线质谱仪应用
    若您需要进一步的了解 Atonarp  Aston™ 在线质谱仪详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士

    现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
    上海伯东版权所有, 翻拷必究! 


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
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