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上海伯东 KRI 射频离子源 RFICP 140

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后更新时间:2022-05-12
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品牌:
KRI
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
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    上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀. 在离子束溅射工艺中,射频离子源 RFICP 140 配有离子光学元件, 可以很##的控制离子束去溅射靶材, 实现##的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, ##的离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 就标准的型号而言, 可以在离子能量为 100~1000 eV 范围内获得很高的离子密度. 可以输出大 600 mA 离子流

    KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

    型号

    RFICP 140

    Discharge 阳极

    RF 射频

    离子束流

    600 mA

    离子动能

    100-1200 V

    栅极直径

    14 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    5-30 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    长度

    24.6 cm

    直径

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

    KRI 射频离子源 RFICP 140 应用领域:

    预清洗

    表面改性

    辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

    溅镀和蒸发镀膜 PC

    离子溅射沉积和多层结构

    离子蚀刻 IBE


    1978 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

    若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士, 分机134


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
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