手机版手机版
服务热线 周一至周六 8:00-17:00
400-806-8896
供应

KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

  • 二维码
  • 手机
    查看
单   价:
面议
起订量:
≥1 (现有库存1000台 )
后更新时间:2022-05-12
人气值 6
品牌:
KRI
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
  • ###格货期电议


    上海伯东代理美国原装进口 KRI  线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬##, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现##的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很##的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

    霍尔离子源 eH 400 尺寸

    尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”

    放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A

    操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体


    KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数

    型号

    eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

    供电

    DC magnetic confinement

      - 电压

    40-200V VDC

      - 阳极结构

    模块化

    电源控制

    eHL-30010A

    配置

    -

      - 阴极中和器

    Filamentless

      - 离子束发散角度

    > 45° (hwhm)

      - 阳极

    标准或 Grooved

      - ##座

    移动或快接法兰

      - 高度

    10 cm

    宽度

    10 cm

      - 长度

    ~ 100cm

      -工艺气体

    Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others


    Model

    eHL 200-3

    eHL 200-5

    Height (nominal)

    2.9” (7.4cm)

    2.9” (7.4cm)

    Width (nominal)

    3.3” (8.4cm)

    3.3” (8.4cm)

    Length (nominal)

    Determined by number of modules & application

    Determined by number of modules & application

    Cathode/Neutralizer

    Yes

    Yes

    Anode module

    Yes

    Yes

    Filamentless

    Yes

    Yes

    Orientation

    Vertical / Horizontal

    Vertical / Horizontal

    Process gases

    Inert, reactive, & organic

    Inert, reactive, & organic

    Power controller

    eH Plasma Power Pack

    eH Plasma Power Pack



    1978 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

    若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论请联络上海伯东邓女士分机134


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
普通会员
    • 联 系  人: 张婷婷
    • 在线客服:
    • 手机号码:
    • 联系电话:
    • 传      真:
    • 企业地址: 中国上海自由贸易试验区希雅路33号17号楼
    • 工商认证
    • 手机实名
我要询价
验证码
热门产品推荐